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六月初。
温度回升,人们纷纷换上了夏装。
这天上午,徐卫国乘车回到单位,随即就找到了光刻机实验室,喊来几个实验室领导层,给他们安排了一项特别任务。
“你们尽快组织一个小组,对600式光刻机进行改造,将光源跟光学系统等核心部件,设计对应的黑盒结构。设计目标是,把这些核心结构做成模块化,每一部分都不可分解,一旦拆开就让机器报废。”徐卫国说道。
所谓的600式光刻机,是指他们在十多年前做的一型光刻机,特征尺寸在600纳米节点。
章立军连忙问道:“600式光刻机要对外出售了?”
徐卫国点头:“对。明年年底之前就要交付第一批设备,对方是美国英特尔公司。”
章立军
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